株式会社フジクラ

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人と暮らしをつなぐ

人と暮らしをつなぐ

半導体圧力センサ

ピエゾ抵抗型半導体圧力センサの研究開発を行なっています。センサはLSIと同様にシリコン単結晶ウエハを母材とし、その表面にはピエゾ抵抗素子とバイポーラ集積回路が、裏面には異方性エッチングと呼ばれるシリコン微細加工による空間が形成されています。当社は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)と呼ばれるこの分野で、いち早く技術開発に着手し、これらの技術を応用した製品の開発に成功しました。工業計測、FA、家電製品、医療用機器、電子血圧計、自動車など多くの分野で当社の製品が採用されています。

圧力センサ 腕時計に使われている
気圧計測用圧力センサ

 

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